三氯氢硅氢还原法

作品数：4被引量：5H指数：1
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三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺简介
《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2020年第12期189-191,共3页任继学 
本文介绍了三氯氢硅氢还原法多晶硅工艺技术的发展历史,重点介绍了第三代西门子法的工艺基本流程和技术原理,简要分析了西门子法多晶硅工艺技术在国内外的运用差异,展望了未来多晶硅工艺技术的发展方向。
关键词：多晶硅 西门子法 三氯氢硅氢还原法 冷氢化 热氢化 
电子级多晶硅制备过程中质量影响因素分析被引量：5
《中国有色冶金》2019年第6期49-51,70,共4页陈辉 张征 万烨 孙强 张晓伟 张邦洁 王浩 裴蕾 
河南省科技研发专项(174200510014);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项
电子级多晶硅是微电子行业、信息产业和新能源产业的基础性材料,目前,全球电子级高纯多晶硅总产能约31000 t,我国高品质多晶硅仍然需要大量进口。电子级多晶硅产品质量控制要求非常严格,目前生产工艺主要有三氯氢硅氢还原法和硅烷热分...
关键词：电子级多晶硅 制备 三氯氢硅氢还原法 影响因素 
国内中文报刊重要科技文章篇目辑览
《科技导报》2010年第22期20-20,共1页
关键词：学报 连续出版物 纳米结构 氧化锌纳米材料 晶体 微乳液法 功能化石墨烯 三氯氢硅氢还原法 广义差分格式 碳纳米管 光催化活性 奥氏体回火 前驱体 材料科学 电喷雾电离串联质谱 文章篇目 中文报刊 
大搞综合回收,不断提高多晶硅生产技术水平——洛阳单晶硅厂多晶硅生产变迁及其探讨之一
《中国有色冶金》1984年第4期29-34,共6页莫运筹 
一、前言洛阳单晶砖厂是1966年从日本窒素公司引进的成套硅材料生产厂,当时建厂规模是多晶硅3吨/年及相应的硅单晶和硅片加工装备能力。多晶硅生产是采用西门子法,即将沸腾氯化法生产的三氯氢硅,经二个塔连续粗馏后,再经二个塔连续精馏...
关键词：多晶硅 三氯氢硅氢还原法 四氯化硅 综合回收 
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