三维加速度传感器

作品数：32被引量：161H指数：7
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基于厚膜技术E型三维加速度传感器的设计被引量：11
《仪表技术与传感器》2001年第9期3-5,共3页吴仲城 戈瑜 虞承端 
传感器技术国家重点实验室基金支持
提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器 ,其采用E型结构和特殊的组桥方式实现对三维加速度信息的检测。介绍了传感器的结构 ,并详细讨论了传感器工作原理和维间耦合问题。由于E型结构的对称性 ,使得所设计的三维加速度传感器...
关键词：厚膜技术 三维加速度传感器 E型结构 维间耦合 设计 
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