三轴加速度

作品数：246被引量：993H指数：15
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基于三轴加速度探头的涡街湿气分相流量测量被引量：3
《仪器仪表学报》2023年第7期17-27,共11页李金霞 丁红兵 孙宏军 王超 
国家自然科学基金(52276159)项目资助。
针对涡街湿气测量过读问题,提出了基于加速度检测的涡街过读校正和分相流量测量方法。设计了高频响三轴加速度探头,分别对敏感元件、探头尺寸和封装进行了优化设计。干气标定结果表明,在4.43×10^(4)~1.81×10^(5)雷诺数范围内,测量精...
关键词：湿气两相流 涡街流量计 加速度探头 仪表过读 流量测量 
考虑横向灵敏度的三轴加速度传感器标定方法研究被引量：9
《仪器仪表学报》2021年第4期33-40,共8页张顺星 周吴 卢鹏 于慧君 彭倍 
国家自然科学基金(52075082);四川省科技厅区域创新合作项目(2020YFQ0017)资助。
横向灵敏度是单轴加速度传感器的重要指标之一,它直接影响到三轴加速度传感器的标定模型与测量精度。本论文以三轴MEMS加速度传感器为研究对象,在传统的标定模型中引入了导致测量耦合的横向灵敏度误差,建立了一种新的三轴加速度传感器...
关键词：三轴MEMS加速度传感器 误差分析 横向灵敏度 标定 
一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器被引量：5
《仪器仪表学报》2007年第8期1393-1398,共6页徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 孙剑 
国家自然科学基金(50535030;50475085);国家重点基础研究发展规划(2004CB619302);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(NCET-05-0842)资助项目
针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂...
关键词：集成传感器 SOI MEMS 
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