深槽刻蚀

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微通道板技术
《测试技术学报》2004年第z3期29-32,共4页石云波 郭涛 刘俊 
本文针对军用夜视仪中的关键部件微通道板,简述了微通道板的基本原理,讨论了微通道板传统加工工艺的优缺点,并结合MEMS技术的发展,说明了新型工艺在加工中的优势,最后阐述了目前我国微通道板与世界强国之间的差距.
关键词：微通道板 MEMS技术 深槽刻蚀 
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