深槽刻蚀

作品数：21被引量：54H指数：5
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相关机构：电子科技大学北京大学杭州士兰集成电路有限公司兰州大学更多>>
相关期刊：《中国集成电路》《电子技术应用》《固体电子学研究与进展》《Journal of Semiconductors》更多>>
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国家自然科学基金
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作品数：3164197被引量：8349380H指数：432
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家高技术研究发展计划
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作品数：254143被引量：1396218H指数：194
相关主题：数值模拟 水稻 仿真 遗传算法 机器人
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
国家自然科学基金(51377025)
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作品数：9被引量：7H指数：1
相关主题：IGBT 超前校正 MATLAB实现 MATLAB 相位
相关领域：自动化与计算机技术 电气工程 电子电信
甘肃省自然科学基金
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作品数：21281被引量：108182H指数：66
相关主题：数值模拟 混沌 肿瘤 META分析 稳定性
相关领域：医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术 生物学
甘肃省自然科学基金(3ZS051-A24-034)
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作品数：1
相关主题：刻蚀 静电感应 晶体管特性 埋栅 台面刻蚀
相关领域：电子电信
中国科学院微电子研究所所长基金
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作品数：14被引量：38H指数：4
相关主题：MHEMT INALAS/INGAAS HEMTS GA METAMORPHIC
相关领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术
武器装备预研基金
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作品数：3347被引量：17248H指数：34
相关主题：仿真 数值模拟 神经网络 故障诊断 合成孔径雷达
相关领域：自动化与计算机技术 电子电信 航空宇航科学技术 兵器科学与技术 理学
中国科学院微电子研究所所长基金(07SF074002)
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作品数：2被引量：7H指数：1
相关主题：硅 化学平衡 电感耦合等离子体 深槽刻蚀 刻蚀机
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术
国家科技重大专项
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作品数：155256被引量：844641H指数：182
相关主题：数值模拟 鄂尔多斯盆地 影响因素 煤层气 页岩气
相关领域：医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
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