甘肃省自然科学基金(3ZS051-A24-034)

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台槽刻蚀对埋栅型静电感应晶体管特性的影响
《现代电子技术》2012年第8期175-178,共4页朱筠 
甘肃省自然科学基金(3ZS051-A24-034)
对埋栅型SIT,为切断栅极和源极(或阴极)之间在外延过程中形成的连体,打开栅电极区,进行外延后的台面刻蚀,对台面刻蚀的深度和形状进行研究;为消除栅墙外划片边界造成的各种寄生效应,在有源区的外面挖深槽,以保证栅源击穿发生在内部、实...
关键词：埋栅型SIT 台面刻蚀 深槽刻蚀 先台后槽 
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