中国科学院微电子研究所所长基金

作品数:14被引量:38H指数:4
导出分析报告
相关作者:徐静波张海英付晓君黎明张育胜更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所中国科学院北方工业大学南开大学更多>>
相关期刊:《微电子学与计算机》《电子工业专用设备》《科学通报》《电子测量技术》更多>>
相关主题:MHEMTINALAS/INGAASHEMTSGAMETAMORPHIC更多>>
相关领域:电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
-

检索结果分析

结果分析中...
条 记 录,以下是1-10
视图:
排序:
SiC MOS器件界面钝化研究进展被引量:4
《微电子学》2021年第3期382-389,共8页朱浩 张静 李鹏飞 袁述 
中国科学院微电子研究所所长基金(Y9SR03X002);北京市自然科学基金面上项目(4182021)。
从氧化后退火处理、氮化处理、碳帽、钡夹层、淀积氧化物后退火处理五个方面介绍了碳化硅钝化工艺。通过改进钝化工艺可以有效降低界面态密度。针对这几种钝化工艺对SiC/SiO_(2)界面态密度的影响进行讨论,分析几种钝化工艺的优劣,并重...
关键词:碳化硅 钝化 界面态密度 
氧化锌纳米线晶体管的电学特性研究被引量:3
《半导体技术》2011年第10期778-781,785,共5页付晓君 张海英 徐静波 
中国科学院微电子研究所所长基金项目(O8SB034002)
成功制作了氧化锌纳米线沟道场效应晶体管器件,所制作器件的电学性能通过I-V测试进行了分析。使用了水浴法生长了单晶性完整的氧化锌纳米线,该纳米线被用作背栅场效应晶体管的沟道,采用光刻方式制备的器件具有良好的直流特性,进行退火...
关键词:氧化锌 纳米线 场效应晶体管 背栅 退火 
一种适用于信号检测的低失真低功耗Σ-Δ A/D转换器被引量:3
《微电子学》2011年第4期488-492,497,共6页范军 蒋见花 李海龙 
中国科学院知识创新工程科技创新重要方向项目(Y0YF052001);中国科学院微电子研究所所长基金项目(08SB012001)
采用TSMC 0.18μm混合信号1P6M CMOS工艺,实现了一种适用于传感器信号检测的低失真低功耗Σ-Δ模数转换器(ADC)。该ADC的调制器采用前馈结构和128倍过采样率,实现了12.8 MHz的数据流输出;数字滤波器通带纹波限定在±0.001 dB,阻-带80 d...
关键词:Σ-Δ调制器 A/D转换器 微弱信号检测 开关电容积分器 
一种用于数字PFC的嵌入式SARADC被引量:1
《微电子学与计算机》2011年第2期77-81,共5页杨超 赵野 周玉梅 
中国科学院微电子研究所所长基金重点项目(08SA042001)
设计了一个用于数字PFC(功率因数校正)的12位精度的逐次逼近(SAR)A/D转换器.对DAC模块中出现的电容寄生问题进行了详细分析,针对性提出了一种1-6-5式的新型电容分段结构,并采用伪差分结构消除电荷注入和时钟馈通引入的一阶效应,使ADC性...
关键词:逐次逼近 电容寄生 伪差分 数字功率因数校正 
纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用被引量:9
《强激光与粒子束》2010年第10期2299-2302,共4页万军 贾向红 宋铭炜 王守国 
科技部02重大专项资助课题(2009ZX02037-008);中国科学院微电子研究所所长基金项目
采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之间的间隔为...
关键词:纳秒脉冲放电 半导体断路开关 空气辉光等离子体 表面处理 
基于CORDIC算法的高速可配置FFT的FPGA实现被引量:4
《微电子学与计算机》2010年第3期24-28,共5页文婧媛 徐欣锋 
中国科学院院长奖专项资金(07YY012001);中国科学院微电子研究所所长基金项目(06SB042002)
论述了一种用于星载合成孔径雷达(SAR)星上数据实时自主处理系统中的高性能FFT的FPGA实现.采用CORDIC算法实现复数乘法,降低了系统的复杂性,提高了运算速度,并提出一种新型便捷的旋转因子产生方法,无需额外的ROM资源.采用块浮点的数据类...
关键词:CORDIC算法 FFT 旋转因子 块浮点 无冲突地址生成 
10bit 20MS/s流水线模数转换器设计被引量:2
《固体电子学研究与进展》2010年第1期114-118,共5页卫宝跃 周玉梅 范军 胡晓宇 陈利杰 
中国科学院微电子研究所所长基金(06SB032001)
设计了一个20MHz采样率,10bit精度流水线模数转换器。采用新颖的栅压自举开关,使电路在输入信号频率很高时仍具有良好的动态性能;用MATLAB仿真增益增强型运算放大器在不同反馈因子下闭环零、极点特性,提出了使大信号建立时间最短的主运...
关键词:模数转换器 自举开关 增益增强型运算放大器  极点分析 
平滑陡直的Si深槽刻蚀方法被引量:7
《半导体技术》2009年第3期214-216,220,共4页张育胜 
中国科学院微电子研究所所长基金项目(07SF074002)
Si深槽刻蚀技术在MEMS器件加工中具有重要的作用,现有的刻蚀方法在选择比和各向异性问题上各有优缺点。常用的Bosch工艺采取了钝化与刻蚀交替进行的措施,但具有侧壁粗糙的缺点。提出了不同于Bosch工艺的新刻蚀方法,采用刻蚀反应和淀积...
关键词:硅深槽刻蚀 电感耦合等离子体 Bosch工艺 化学平衡 
Power Characteristics of Metamorphic In_(0.52)Al_(0.48)As/In_(0.6)Ga_(0.4)As HEMTs on GaAs Substrates with T-Shaped Gate
《Journal of Semiconductors》2008年第12期2331-2334,共4页黎明 张海英 徐静波 付晓君 
supported by the State Key Development Programfor Basic Research of China(No.G2002CB311901);the Equipment Investigation Programin Advance(No.61501050401C);the Dean Fund of the Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Sciences,(No.O6SB124004)~~
200nm gate-length power InAlAs/InGaAs MHEMTs with T-shaped gate are characterized for DC, RF, and power performance. The MHEMTs show excellent DC output characteristics with an extrinsic transconductance of 510mS/ mm ...
关键词:MHEMT INALAS/INGAAS power characteristics T-shaped gate 
太阳能电池刻蚀机的控制系统研究
《电子工业专用设备》2008年第8期20-22,31,共4页张育胜 
中国科学院微电子研究所所长基金(07SF074002)资助项目
太阳能电池刻蚀机的自动生产流程是逻辑控制系统,提出采用树形结构对逻辑控制系统进行分析,各子系统用树形结构进行设计,终端子系统采用时序图方法进行设计,综合了组合逻辑和时序逻辑控制。此方法应用于自动太阳能电池刻蚀机,提高了系...
关键词:树形结构 逻辑控制 系统 组合逻辑 时序逻辑 时序图 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部