万军

作品数：7被引量：34H指数：4
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：硅衬底含氮原子层沉积化学吸附含碳更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《强激光与粒子束》《无机材料学报》《半导体技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金国家重点实验室开放基金中国科学院微电子研究所所长基金更多>>
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等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2014年第2期192-196,共5页万军 饶志鹏 方攸同 陈波 李超波 夏洋 
极大规模集成电路制造装备及成套工艺项目(2009ZX02039);中国科学院科研装备研制项目(YZ200755);中国博士后基金资助项目(2011M500996);中国博士后基金特别资助项目(2012T50513)
介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果。PEALD系统主要由远程脉冲感应耦合等离子体发生器、真空反应腔室、真空系统、前驱体输运系统、控制系统等部分组成。沉积过程中...
关键词：等离子体增强原子层沉积 原位掺杂 氮掺杂TiO2 结构表征 
PEALD原位掺杂制备纳米TiO2-xNx光催化剂被引量：3
《无机材料学报》2013年第7期691-695,共5页饶志鹏 万军 冯嘉恒 李超波 夏洋 
国家科技重大专项(2009ZX02037-003);中国博士后科学基金(2011M500996);中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室基金~~
采用等离子体增强型原子层沉积(PEALD)系统原位掺杂制备了TiO2-xNx光催化剂。利用光电子能谱(XPS)、高分辨率透射电镜(HRTEM)、光致发光(PL)光谱和紫外–可见光(UV-Vis)光谱对催化剂进行了表征,并研究了TiO2-xNx纳米薄膜在可见光照射下...
关键词：等离子体增强原子层沉积 原位 TiO2-xNx 光催化剂 
原子层沉积技术研究及其应用进展被引量：5
《微纳电子技术》2012年第11期701-708,731,共9页仇洪波 刘邦武 夏洋 李惠琪 陈波 李超波 万军 李勇 
国家自然科学基金资助项目(61106060);中国科学院知识创新工程重大项目(Y2YF028001);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA052401)
原子层沉积(ALD)技术是制备复杂纳米结构材料以及材料表面改性的关键技术,该技术已得到了国内外学术界的大量研究。简单介绍了ALD技术、沉积过程、该技术的优点以及该技术可以沉积的薄膜材料,重点论述了ALD技术的应用进展,主要包括半导...
关键词：原子层沉积(ALD) 薄膜沉积 太阳电池 互连技术 催化剂 分离膜 
载人航天微型磁等离子体辐射防护地面实验
《辐射防护》2012年第5期311-315,321,共6页贾向红 许峰 贾少霞 万军 王守国 
国家自然科学基金青年基金资助项目(编号10805042);航天医学基础与应用国家重点实验室资助项目(编号SMFA09A10)
星际飞行中的辐射主动防护问题一直是人们研究的焦点,低地轨道飞行中采用的质量厚度屏蔽已经不能满足要求,必须寻找新的空间辐射主动防护技术和方法。在电场、磁场、等离子体膨胀等众多新的主动防护方法中,选取了等离子体膨胀辐射防护...
关键词：空间辐射 载人航天 微型磁等离子体 主动防护 
图形化蓝宝石衬底工艺研究进展被引量：10
《半导体技术》2012年第7期497-503,581,共8页黄成强 夏洋 陈波 李超波 万军 汪明刚 饶志鹏 李楠 张祥 
国家自然科学基金资助项目(60727003)
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术是一种提高LED亮度的新技术。结合光刻和刻蚀工艺制作图形化蓝宝石衬底。有关图形化蓝宝石衬底的研究主要集中在对光刻和刻蚀工艺的研究,以及图形化蓝宝石衬底提高LED亮度的机理。目前微米级图形化蓝宝石衬底...
关键词：图形化蓝宝石衬底 发光二极管 光刻 纳米压印 刻蚀 
用于空间辐射主动防护的等离子体发生器设计被引量：3
《真空科学与技术学报》2011年第4期481-484,共4页贾向红 许峰 万军 贾少霞 王守国 
自然科学基金青年基金项目(10805042);航天医学基础与应用国家重点实验室资助项目(SMFA09A10)
等离子引发磁膨胀技术被美国航空航天局推荐为最有工程应用价值的空间辐射主动防护技术。在该技术中,高密度等离子体发生器的设计是其中的关键技术之一。本文设计了一种高密度螺旋波等离子体发生器,采用13.56 MHz射频源激发等离子体天线...
关键词：螺旋波 空间辐射 主动防护 等离子体发生器 
纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用被引量：9
《强激光与粒子束》2010年第10期2299-2302,共4页万军 贾向红 宋铭炜 王守国 
科技部02重大专项资助课题(2009ZX02037-008);中国科学院微电子研究所所长基金项目
采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之间的间隔为...
关键词：纳秒脉冲放电 半导体断路开关 空气辉光等离子体 表面处理 
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