张祥

作品数：4被引量：24H指数：3
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：原子层沉积氧化铝A1硅太阳电池钝化更多>>
发文领域：电子电信电气工程更多>>
发文期刊：《半导体技术》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
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A1_2O_3钝化及其在晶硅太阳电池中的应用被引量：11
《物理学报》2012年第18期444-452,共9页张祥 刘邦武 夏洋 李超波 刘杰 沈泽南 
国家自然科学基金(批准号:61106060)资助的课题~~
介绍了Al_2O_3的材料性质及其原子层沉积制备方法,详细阐述了该材料的钝化机制(化学钝化和场效应钝化),并从薄膜厚度、热稳定性及叠层钝化等角度阐释其优化方案.概述了Al_2O_3钝化在晶体硅太阳电池中的应用,主要包括钝化发射极及背面局...
关键词：氧化铝(A1_2O_3) 原子层沉积 晶硅太阳电池 钝化 
图形化蓝宝石衬底工艺研究进展被引量：10
《半导体技术》2012年第7期497-503,581,共8页黄成强 夏洋 陈波 李超波 万军 汪明刚 饶志鹏 李楠 张祥 
国家自然科学基金资助项目(60727003)
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术是一种提高LED亮度的新技术。结合光刻和刻蚀工艺制作图形化蓝宝石衬底。有关图形化蓝宝石衬底的研究主要集中在对光刻和刻蚀工艺的研究,以及图形化蓝宝石衬底提高LED亮度的机理。目前微米级图形化蓝宝石衬底...
关键词：图形化蓝宝石衬底 发光二极管 光刻 纳米压印 刻蚀 
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