甚大规模集成电路

作品数：15被引量：18H指数：3
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用于半导体器件参数检测的比例差值谱仪
《半导体技术》2008年第S1期365-367,375,共4页许铭真 马金源 谭长华 谭映 王洁 靳磊 
比例差值谱仪运用了独创的在线综合检测分析的专利技术——比例差值谱技术,实现了半导体器件的关键电学特征参数如饱和电流、饱和电压、阈值电压、载流子迁移率等直接、准确、便捷地提取和薄膜材料的缺陷分析。该产品是基于Windows操作...
关键词：比例差值谱仪 甚大规模集成电路纳米尺度器件 参数检测 
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