声表面波压力传感器

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基于氮化铝单晶的声表面波压力传感器的特性研究
《安徽电子信息职业技术学院学报》2019年第6期12-15,25,共5页潘沛锋 
采用了声表面波(SAW)理论以及SAW谐振器的结构和工作原理,设计了一种基于声表面波(SAW)谐振式压力传感器。采用有限元仿真软件COMSOL Multiphysics对氮化铝单晶声表面波谐振器进行建模和仿真,提出符合声表面波振型的对称模态和反对称模...
关键词:声表面波 氮化铝单晶 压力传感器 COMSOL 叉指换能器 
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