室温制备

作品数：51被引量：172H指数：7
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基于柔性显示器件的氧化铝介电层室温制备被引量：7
《光学学报》2017年第3期367-372,共6页姚日晖 郑泽科 曾勇 胡诗犇 刘贤哲 陶瑞强 陈建秋 蔡炜 宁洪龙 徐苗 王磊 兰林锋 彭俊彪 
国家重点研发计划(2016YFB0401504,2016YFF0203603);国家973计划(2015CB655004);广东省自然科学基金资助项目(2016A030313459);广东省科技计划(2014B090915004,2016B090907001);中央高校基本科研业务费专项资金(2015ZP024,2015ZZ063);发光学及应用国家重点实验室开放基金(SKLA-2016-11)
在室温环境下采用射频磁控溅射方法制备了氧化铝(A_l2O_3)薄膜,通过调节溅射气压实现了对薄膜特性的优化控制。当溅射功率为120 W、Ar气压强为0.13Pa时,制备的A_l2O_3薄膜具有最好的厚度均匀性,薄膜中Al和O的原子比为1∶1.67,密度为3.21...
关键词：薄膜 柔性薄膜晶体管 氧化铝 介电层 射频磁控溅射 室温制备 
室温制备低电阻率高透过率H,W共掺杂ZnO薄膜被引量：1
《物理学报》2013年第1期448-454,共7页王延峰 张晓丹 黄茜 刘阳 魏长春 赵颖 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2011CBA00706;2011CBA00707);国家自然科学基金(批准号:60976051);教育部新世纪人才项目(批准号:NCET-08-0295);教育部重点实验室开放课题(批准号:2011KFKT06);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:65011981)资助的课题~~
采用脉冲直流磁控溅射法,以WO3:ZnO陶瓷靶为溅射靶材,通过在溅射气氛中引入H2的方式,在室温条件下制备了低电阻率、高可见和近红外光区透过率的H,W共掺杂ZnO(HWZO)薄膜.系统地研究了H2流量对所制备的HWZO薄膜的结构、组分、元素价态、...
关键词：HWZO薄膜 磁控溅射 太阳电池 
Ag-石墨烯纳米复合材料的室温制备及其结构分析被引量：7
《电子显微学报》2011年第3期187-190,共4页尹奎波 朱逸宇 韩宇龙 赵安璞 李萍萍 周明杰 孙立涛 
国家本科生科研训练计划项目(SRTP,No.091028621);江苏省博士后资助计划(No.1001014B);中国博士后资助计划(20100481085);国家基础研究计划项目(No.2011CB707601和2009CB623702);国家自然科学基金资助项目(No.51071044,60976003和61006011);东南大学生物电子学国家重点实验室开放研究基金项目
在室温条件下利用水合肼将氧化石墨烯和AgNO3还原获得Ag-石墨烯纳米复合材料,并利用X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射(XRD),X射线能谱(EDX)及高分辨透射电镜(HRTEM)等方法对制备的纳米复合材料进行分析。结果表明:Ag-石墨烯复合材料中石...
关键词：Ag-石墨烯纳米复合材料 TEM XRD XPS 拉曼光谱 
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