曾勇

作品数：3被引量：9H指数：2
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供职机构：华南理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：晶体管室温制备氧化铝射频磁控溅射L2O3更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信电气工程更多>>
发文期刊：《光学学报》《发光学报》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金广东省科技计划工业攻关项目国家重点基础研究发展计划广东省自然科学基金更多>>
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基于柔性显示器件的氧化铝介电层室温制备被引量：7
《光学学报》2017年第3期367-372,共6页姚日晖 郑泽科 曾勇 胡诗犇 刘贤哲 陶瑞强 陈建秋 蔡炜 宁洪龙 徐苗 王磊 兰林锋 彭俊彪 
国家重点研发计划(2016YFB0401504,2016YFF0203603);国家973计划(2015CB655004);广东省自然科学基金资助项目(2016A030313459);广东省科技计划(2014B090915004,2016B090907001);中央高校基本科研业务费专项资金(2015ZP024,2015ZZ063);发光学及应用国家重点实验室开放基金(SKLA-2016-11)
在室温环境下采用射频磁控溅射方法制备了氧化铝(A_l2O_3)薄膜,通过调节溅射气压实现了对薄膜特性的优化控制。当溅射功率为120 W、Ar气压强为0.13Pa时,制备的A_l2O_3薄膜具有最好的厚度均匀性,薄膜中Al和O的原子比为1∶1.67,密度为3.21...
关键词：薄膜 柔性薄膜晶体管 氧化铝 介电层 射频磁控溅射 室温制备 
室温生长AZO/Al2O3叠层薄膜晶体管性能研究被引量：2
《发光学报》2016年第11期1372-1377,共6页宁洪龙 曾勇 姚日晖 刘贤哲 陶瑞强 郑泽科 方志强 胡诗犇 陈建秋 蔡炜 徐苗 兰林锋 王磊 彭俊彪 李正操 
国家重点基础研究发展计划(973)(2015CB655004);国家重点研发计划(2016YFB0401504,2016YFF0203603);广东省自然科学基金(2016A030313459);广东省科技计划(2014B090915004,2016B090907001,2014A040401014,2016B090906002,2015A010101323,2014B090916002,2015A010101323,2015B090915001,2015B090914003);广东省教育厅项目(2014KZDXM010,2015KTSCX003);中央高校基本科研业务费专项资金(2015ZP024,2015ZZ063);新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室开放课题(KF201508)资助项目
针对目前大多数氧化物薄膜晶体管都需要采用热退火工艺来提高其性能不利于其在柔性显示器件中应用这一问题,提出了一种采用室温工艺制备的新型TFT器件,无需退火处理即可获得较好的器件性能。该器件采用脉冲激光沉积技术制备的AZO/Al_2O_...
关键词：叠层薄膜晶体管 室温工艺 二维电子传输 
薄膜晶体管中高性能HfO_2的低温制备研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2016年第8期862-865,共4页陶瑞强 姚日晖 朱峰 胡诗犇 刘贤哲 曾勇 陈建秋 郑泽科 蔡炜 宁洪龙 徐苗 兰林锋 王磊 彭俊彪 
国家重点基础研究发展计划(973)(2015CB655004);广东省自然科学基金资助项目(2016A030313459);广东省科技计划(2014B090915004;2016B090907001;2014A040401014;2016B090906002;2015A010101323;2014B090916002;2015A010101323;2015B090915001和2015B090914003);广东省教育厅项目(2014KZDXM010和2015KTSCX003);广东省引进创新科研团队计划(201101C0105067115);中央高校基本科研业务费专项资金(2015ZP024和2015ZZ063)资助
采用电子束蒸镀在ITO上沉积Hf O2,研究了不同退火工艺对其电学性能的影响。当450℃时O2退火,Hf O2的漏电迅速增加,通过X射线衍射发现Hf O2有单斜相等结晶生成。450℃下N2退火,Hf O2结构则没有明显晶体和晶界结构,且N2气氛退火的Hf O2漏...
关键词：氧化铪 栅介质层 电子束蒸镀 退火 薄膜晶体管 
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