数字掩模

作品数：7被引量：6H指数：2
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数字掩模投影光刻的极限分辨率研究被引量：3
《量子电子学报》2019年第3期354-359,共6页刘玉环 赵圆圆 董贤子 郑美玲 段宣明 赵震声 
科技部国家重点研发纳米科技重点专项,2016YFA0200501~~
研究了一种基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模投影光刻(DMPL)技术,以400 nm飞秒激光作为光源,结合高缩放比投影系统,来缩小光刻胶与光子束的反应区域,通过调控不同DMD像素投影光场强度分布,将投影光刻的线宽分辨率推进至亚微米尺度,实现...
关键词：激光技术 仪器数字掩模投影光刻 数字微镜器件 跨尺度 飞秒激光 分辨率 
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