碳化铪

作品数:36被引量:78H指数:5
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相关领域:化学工程一般工业技术更多>>
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相关机构:西北工业大学山东理工大学中国科学院武汉理工大学更多>>
相关期刊:《硅酸盐学报》《材料导报》《河北师范大学学报(自然科学版)》《真空电子技术》更多>>
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反应磁控溅射碳化铪薄膜的微结构与力学性能
《表面技术》2010年第1期5-8,共4页许辉 祝新发 张晶晶 周颐辛 李冠群 李戈扬 
国家科技支撑项目(2008BAF32B06)
为满足不同加工方式和加工条件下刀具对涂层的特殊要求,获得硬度高和耐摩擦性能优异的刀具涂层,采用反应磁控溅射方法制备了一系列不同碳含量的碳化铪薄膜。利用EDX,XRD,SEM,AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了C2H2分...
关键词:碳化铪 硬质薄膜 微结构 力学性能 磁控溅射 
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