探测器芯片

作品数：28被引量：31H指数：3
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氮化镓基PIN紫外探测器芯片研究被引量：2
《电子测试》2019年第11期63-64,共2页李建婷 孟锡俊 
通过对氮化镓基PIN紫外探测器不同外延结构及芯片制备工艺的研究,发现探测器性能和外延层结晶质量及芯片制备工艺有很大的关系。采用ITO扩展电极制备的探测器反向漏电很大,暗电流高,采用Ni/Au半透明电极制备的探测器芯片,光电流相对ITO...
关键词：探测器 紫外 NI/AU ITO 
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