电导调制

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一种新型双Fin ESD防护单元研究
《微电子学》2023年第2期321-325,共5页成建兵 周嘉诚 刘立强 张效俊 孙旸 
国家自然科学基金资助项目(61274080)。
为满足小尺寸器件的ESD防护需求,基于Fin技术,提出了一种具有寄生SCR的STI双Fin结构。通过采用双Fin布局和深掺杂技术,减小了器件的基区宽度,避免了Fin技术中由弱电导调制导致的SCR无法开启的现象。仿真结果表明,相比于DFSD结构,新结构...
关键词：鳍式场效应晶体管 电导调制 深掺杂 静电放电 
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