凸角补偿

作品数：18被引量：35H指数：3
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硅(100)晶面的凸角腐蚀及其补偿被引量：1
《微纳电子技术》2007年第2期93-96,共4页周丽玲 闫卫平 梁秀萍 
国家自然科学基金资助项目(60574092;60174034)
在进行Si(100)台面腐蚀时,由于硅的各向异性腐蚀特性,凸角处呈现严重切削现象。凸角侧向腐蚀程度与腐蚀深度、腐蚀温度、腐蚀剂配比等诸多因素有关。针对方形补偿结构探讨了凸角腐蚀的补偿原理,设计了补偿版图,并在KOH腐蚀液中进行实验...
关键词：各向异性腐蚀 凸角补偿 氢氧化钾腐蚀液 
硅的凸角补偿尺寸及腐蚀中避免削角的新方法被引量：1
《微纳电子技术》2004年第8期42-44,47,共4页张丹 郑志霞 冯勇建 
在硅的腐蚀过程中,如果不对台面凸角加以补偿,会产生严重的削角现象。本文采用在凸角上补偿正方形掩膜的方法,通过实验得出要在TMAH腐蚀液中将厚度约为300μm的硅片腐蚀出完整的台面凸角结构需要补偿多大尺寸的正方形掩膜。硅片与玻璃...
关键词：凸角补偿 腐蚀 削角现象 
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