凸角补偿

作品数：18被引量：35H指数：3
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一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计被引量：5
《传感技术学报》2006年第05B期1855-1858,1862,共5页任森 苑伟政 邓进军 
根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片.在相同的膜片面积下,新膜片与原有矩形间接连接式压力敏感膜片性能相近,为内部谐振器的多样化提供了基...
关键词：谐振式压力传感器 敏感膜片 硅岛 凸角补偿 
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