凸角补偿

作品数:18被引量:35H指数:3
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硅各向异性腐蚀技术研究被引量:3
《微处理机》2012年第6期12-13,19,共3页李倩 崔鑫 李湘君 
针对两种补偿结构探讨了硅的凸角腐蚀补偿原理,设计了补偿版图,并在KOH腐蚀液中进行实验验证,获得了好的直角凸面补偿效果。
关键词:氢氧化钾 湿法腐蚀 凸角补偿 
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