硼扩散

作品数：43被引量：49H指数：4
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乳胶源硼扩散的SENTAURUS模拟
《微处理机》2014年第5期16-17,共2页刘剑 宋玲玲 
利用半导体TCAD工具Sentaurus对硅片的乳胶源掺硼扩散工艺进行模拟,用淀积后的退火处理过程替代注入后退火的模拟方案,以多种实测条件为标准,用两种条件进行模拟,并结合实测数据,对模型结果进行比较,找到模拟的最终可行方案,弥补Sentau...
关键词：乳胶源硼扩散 SENTAURUS模拟 半导体TCAD Sentaurus Process模块 
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