平面微弹簧

作品数：16被引量：59H指数：5
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相关领域：机械工程兵器科学与技术更多>>
相关作者：石磊朱军李建华陈迪倪智萍更多>>
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基于MEMS镍平面微弹簧尺寸误差分析被引量：4
《机械设计》2012年第8期80-82,共3页邵伟平 张继桃 郝永平 渠元菊 王威 谷双喜 
国家预研项目
对微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微弹簧垂直方向弹性系数影响最大的参数是弹簧线宽b。鉴于此,特针对采用LIGA工艺加工出的两组不同弹簧的线宽进行了精密测量,分析计算出加工误差对弹性系数的影响大小,并对...
关键词：微机电系统 S型微弹簧 弹性系数 加工误差 
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