气敏薄膜

作品数：64被引量：130H指数：5
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电子束蒸发WO_3气敏薄膜被引量：8
《微细加工技术》1998年第1期49-54,共6页丘思畴 陈涛 吴正华 黄汉尧 
湖北省科委自然科学基金
介绍了用电子束蒸发制作ＷＯ３气敏薄膜、溅射掺Ａｕ、膜的后退火等工艺，着重讨论了ＷＯ３膜的稳定化过程。
关键词：电子束蒸发 气敏元件 薄膜 半导体器件 
MOD法制备SnO_2气敏薄膜被引量：1
《微细加工技术》1993年第4期35-39,共5页林海安 吴冲若 邢建 
本文采用金属有机物热分解(MOD)法制备SnO_2薄膜,探索了锑掺杂对薄膜电阻的调制,通过I—V特性发现Al/SnO_2系统存在零电压电位,最后还测试了薄膜的气敏特性。
关键词：氧化锡 薄膜 MOD法 
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