气敏薄膜

作品数：64被引量：130H指数：5
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In_(2)O_(3)多孔有序薄膜的制备及其对丁酮气敏特性被引量：2
《东北大学学报（自然科学版）》2022年第12期1694-1701,共8页苑振宇 郭忠明 封怡超 李泽宇 
国家重点研发计划项目(2020YFB2008702)。
利用气/液界面自组装法和溶液浸渍转移法制备了单层和双层氧化铟多孔有序气敏薄膜,并对其进行了气敏特性测试,同时利用多物理场耦合进行气敏特性仿真研究.结果表明,制备的气敏薄膜具有规则的孔道结构,孔壁呈现为具有大比表面积的片状结...
关键词：气/液界面自组装 气体传感器 多孔有序气敏薄膜 In_(2)O_(3) 丁酮 响应时间 多物理场 
Ag掺杂ZnFe_(2)O_(4)纳米颗粒的制备及光学气敏性能研究被引量：1
《化工新型材料》2022年第10期112-117,共6页燕音 魏鑫 帕提曼·尼扎木丁 热娜古丽·阿不都热合曼 阿布力孜·伊米提 
新疆维吾尔自治区高校科研计划项目(XJEDU2018Y036)。
采用液相法合成Ag掺杂铁酸锌纳米颗粒(Ag@ZFO)气敏材料,并通过X射线衍射仪、X射线能谱仪、场发射扫描电子显微镜和X射线光电子能谱仪对材料的组成、形貌及表面元素进行分析。分析结果表明,气敏材料含有面心立方Ag和尖晶石结构的铁酸锌(Z...
关键词：Ag@ZFO 气敏薄膜 掺杂 气敏性能 硫化氢 
PCA-SVM优化WO_(3)气敏薄膜的VOC选择性研究被引量：3
《电子元件与材料》2022年第5期463-472,共10页唐潇 王明松 柏凌 刘桂武 乔冠军 
国家自然科学基金(22002051)。
挥发性有机物(VOC)对人体健康的危害日益加重。为有效地解决电阻式气体传感器因交叉敏感导致对气体选择性普遍较差的问题,实现仅通过一种气敏材料结合机器学习算法对VOC类型进行预测分类的目的,提出了一种基于主成分分析(PCA)和支持向量...
关键词：挥发性有机物 气体传感器 选择性 主成分分析 支持向量机 
基于COMSOL的气敏薄膜初始电阻模拟计算
《金陵科技学院学报》2019年第2期6-10,共5页张子立 殷晨波 
国家自然科学基金(51575255)
叉指电极可有效降低金属氧化物半导体气敏薄膜的测试电阻,有利于薄膜气敏性能的测量,已广泛用于薄膜型气体传感器上。而叉指电极的尺寸不仅会影响传感器表面的热量分布,也会对薄膜初始电阻造成影响。提出了解微分方程法计算叉指电极上...
关键词：叉指电极 气敏薄膜 初始电阻 微分方程 
二氧化锡/石墨烯气敏薄膜的制备及性能被引量：2
《中国陶瓷工业》2018年第5期4-7,共4页郭大宇 
采用改进的Hummers法制备氧化石墨烯与碱法还原氧化石墨烯,采用溶胶凝胶法制备二氧化锡,通过调控石墨烯的掺杂质量与二氧化锡溶胶配比浓度,利用提拉法制备二氧化锡/石墨烯薄膜。经退火处理,石墨烯的掺杂质量与二氧化锡溶胶浓度比为1 mg/...
关键词：石墨烯 二氧化锡 气敏 薄膜材料 
氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究被引量：3
《传感技术学报》2017年第4期496-499,共4页杨英花 余隽 吴昊 李中洲 唐祯安 
硅基纳米多级复合结构集成气体传感器项目(61131004);基于形变在线调控技术研究微热板气体传感器在应力作用下的稳定性和可靠性项目(61274076);中国工程物理研究院科学技术发展基项目(2012A0403018)
喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点。利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO_2多孔薄膜。根据打印机的定位精度和微热板的悬空尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打印层数,以及打印后的干燥工艺参数;通过扫描电...
关键词：喷墨打印 气体传感器 微热板 气敏薄膜 
ZnO/SnO_2气体传感器的喷墨打印制备及其性能研究
《稀有金属材料与工程》2016年第S1期7-11,共5页熊丹 沈文锋 黄琦金 庄福强 谭瑞琴 
国家自然科学基金(21377063;21205127);宁波大学王宽诚幸福基金
利用以溶胶-凝胶法为主的湿化学法制备了ZnO/SnO_2前驱溶液墨水,并利用喷墨打印功能薄膜技术实现在银钯叉指电极衬底上制备ZnO/SnO_2不同混合比例的金属氧化物气敏薄膜元件。通过XRD,SEM对气敏薄膜进行结构分析和形貌观察。利用气敏检...
关键词：溶胶-凝胶 喷墨打印 ZnO/SO2 气敏薄膜 
纳米薄膜气敏技术发展与展望被引量：2
《传感器世界》2016年第2期19-23,共5页孙冰 田丰 汪鹏 高金雍 
目前,纳米薄膜气体传感器的发展趋势是提高灵敏度和工作性能,降低功耗和成本,缩小尺寸,简化电路。介绍Sn O_2、Zn O、Ti O_2等主要纳米薄膜气敏传感器研究现状。电子鼻依靠气体传感器阵列而组成,还介绍了装有电子鼻的机器人。
关键词：气敏技术 发展现状和前景 金属氧化物 纳米气敏薄膜 电子鼻 机器人 
基于ZnS:Eu^(2+)气敏薄膜的荧光猝灭型硫化氢气体传感器研究被引量：9
《光学学报》2015年第9期184-190,共7页赵芬 江中伟 冯文林 王柯 冯序 
国家自然科学基金(51304260);教育部重点科技项目(212139);重庆市科委自然科学基金(cstc2012jj A40057)
采用超声辅助水热/溶剂热生长法制备了高质量ZnS:Eu2+光学气敏材料,搭建了一套由ZnS:Eu2+气敏薄膜、简易气室、微型光纤光谱仪及配套软件构成的气体传感器用以检测H2S气体浓度,该传感器稳定性好,抗干扰能力强。采用荧光猝灭原理Stern-Vo...
关键词：探测器 荧光猝灭 气体传感器 气敏薄膜 ZnS:Eu2+ 
利用原子力显微镜观测气敏薄膜的平整度被引量：1
《传感器世界》2014年第6期19-22,4,共5页孙冰 田丰 齐景爱 高金雍 阎国英 
介绍原子力显微镜功能、原理和结构,用于检测原子之间的接触来呈现样品的表面形貌特性,如粗糙度、起伏不平整度等,提供三维表面图像。常用的是激光反射检测系统,由探针、激光发生器和光检测器组成。探针是由悬臂和悬臂末端的针尖组成,...
关键词：原子力显微镜 功能 原理和结构 薄膜表面粗糙度 不平整度 
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