氢敏传感器

作品数：20被引量：34H指数：4
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磁控溅射法制备WO_3薄膜及其氢敏特性研究被引量：1
《微纳电子技术》2007年第7期102-104,共3页胡明 冯有才 尹英哲 陈鹏 
采用直流反应磁控溅射法,在未抛光的Al2O3基片上制备WO3薄膜,在干燥空气中经过热处理;利用SEM观察薄膜表面形貌;通过XRD测量,对薄膜的晶体结构进行分析;薄膜氢敏特性测试采用静态配气法。经过400℃热处理,当工作温度在270℃时,对体积分...
关键词：磁控溅射 WO3 氢敏传感器 灵敏度 
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