热屏

作品数：48被引量：115H指数：6
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相关领域：电子电信动力工程及工程热物理更多>>
相关作者：岑可法倪明江吴华夏史全郭宁更多>>
相关机构：中国科学院上海新昇半导体科技有限公司西门子股份公司浙江大学更多>>
相关期刊：《电机技术》《防爆电机》《新材料产业》《石油化工技术与经济》更多>>
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直拉法单晶硅生长的数值模拟和控制参数优化被引量：2
《电子工业专用设备》2015年第7期13-17,共5页王玉臣 
采用有限体积元法软件Crys VUn对直拉法生长直径210 mm的硅单晶热场进行了模拟。后继加热器提高了晶体生长界面中心高度,对熔体温度梯度基本没有影响;热屏能改善晶体生长界面形状,使界面更加平滑,降低界面中心高度,并能降低熔体纵向温...
关键词：数值模拟 单层热屏 加强型热屏 后继加热器 
单晶炉保温与热屏优化的数值模拟与改造被引量：6
《电子工业专用设备》2014年第8期20-24,共5页耿博耘 刘锋 韩焕鹏 
天津市青年基金项目(12JCQNJC01700):低缺陷;高均匀性直拉硅热场和工艺优化模拟的研究
改进CG6000型单晶炉的热场,增加下保温碳毡和上保温罩,改一段式导流筒为三段式导流筒。通过CGsim模拟软件的晶体生长模拟,对比了改进前与改进后的热场,模拟分析指出改进后热场加热功率降低,熔体温场改善,晶体﹑熔体轴向的温度梯度均升高...
关键词：直拉单晶炉改造 三段式导流筒 保温碳毡 保温罩 数值模拟 
Si_(1-x)Ge_x单晶用热系统改进
《电子工业专用设备》2013年第9期1-4,38,共5页韩焕鹏 刘锋 
天津市自然科学基金(项目编号:10JCYBJC01000)
阐述了对原GaAs单晶拉制用LEC单晶炉热系统进行改造使其适于Si1-x Gex单晶生长的过程。借助数值模拟的方法分析了晶体生长区域内的温度分布情况,并通过分析发现了原有热系统的不足。重新对原热系统进行了改造,添加了起到保温和氩气导流...
关键词：数值模拟 Si1-xGex单晶 热屏 氩气流场 
单晶炉密闭式热场改造研究被引量：4
《电子工业专用设备》2012年第8期7-10,共4页谢俊启 韩焕鹏 
在CG6000型单晶炉原350 mm(14英寸)敞开式热场上添加具有保温和导流作用的热屏装置,并改进计算机自动控制参数,解决了原敞开式热场下硅单晶拉制过程中产生扭曲变形的问题,生长出了外形完好,高质量的<111>晶向75～80 mm(3英寸和4英寸)硅...
关键词：单晶炉 热屏装置 密闭式热场 棒体扭曲变形 
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