热阴极

作品数：172被引量：316H指数：9
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放电电流对热阴极等离子体化学气相沉积金刚石膜影响
《大连理工大学学报》2007年第3期313-316,共4页白亦真 金曾孙 吕宪义 韩雪梅 
建立了快速沉积高品质金刚石膜的热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积新方法．相对于常规冷阴极辉光放电而言，热阴极辉光放电是一种新型放电形式，具有许多新的特性，其中重要一点是具有较高的放电电流（6．0～10．0A）．较高的放电电...
关键词：放电电流 热阴极 等离子体化学气相沉积 金刚石膜 
钽阴极在热阴极辉光放电中行为与防护被引量：2
《大连理工大学学报》2006年第2期157-159,共3页白亦真 吕宪义 金曾孙 姜志刚 
"八六三"计划新材料领域资助项目
为快速沉积高品质金刚石膜，建立了热阴极等离子体化学气相沉积方法．相对于常规冷阴极辉光放电而言，热阴极辉光放电是一种新型放电形式，具有许多新的特性，其中重要一方面是阴极工作在较高的温度（700～1200℃）．研究了钽阴极在此...
关键词：钽 热阴极 辉光放电 
空心热阴极离子镀氮化钛涂层技术的研究
《大连理工大学学报》1983年第4期79-84,共6页陈宝清 朱英臣 王斐杰 王玉魁 王绍庭 
本文主要研究钛蒸发速率的影响因素和氮分压对涂层的影响。增加坩埚处聚焦线 圈电流，蒸发速率明显提高，缩小坩埚尺寸及其传热面积也能提高蒸发速率。氮分压 是决定涂层相结构和相组成的主要因素，并影响涂层中相的相对数量，从而影响...
关键词：装饰涂层 涂层相结构 显微硬度 聚焦线圈电流 辅助阳极 氮分压 蒸发速率 超硬涂层 
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