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MEMS的研究现状及其进展被引量：3
《中国集成电路》2004年第10期57-61,21,共6页马强 李文石 朱臻 
本文从MEMS有关的材料、加工工艺、设计方法、仿真模拟、封装和可靠性等方面,阐释MEMS的研究现状,概论MEMS相关技术的发展趋势。
关键词：MEMS 器件 微机电系统 封装技术 参数提取 综合工具 电子数据表格 研究现状 
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