电子源

作品数:101被引量:100H指数:4
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基于碳纳米管电子源的计量级电离真空计数值模拟研究被引量:1
《真空与低温》2023年第3期243-250,共8页马卓娅 张虎忠 李得天 成永军 姚鹏 葛金国 阴怡媛 韩晓东 
国家自然科学基金(62171208)。
通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量,能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量。设计了一种基于碳纳米管(CNT)电子源的计量级电离真空计,构建了物理模型,模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数,并分析了...
关键词:计量级电离真空计 碳纳米管电子源 灵敏度 结构设计 SIMION仿真 
碳纳米管场发射电子源的仿真设计与性能测试被引量:1
《真空与低温》2023年第1期58-66,共9页郝明 王聪 蒋睿 蔡宗佳 齐天缘 巴要帅 谢元华 刘坤 
教育部中央高校基本科研业务(N2003010、N2103027);辽宁省自然科学基金联合基金(2020-KF-15-01)。
碳纳米管(Carbon Nanotubes,CNTs)因其优异的电学性能和大长径比被广泛用作电子源阴极材料。CNTs具有高稳定性和长寿命等特点,广泛应用于高压电极电真空器件中。CNTs电子源采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工艺,有助于质谱分...
关键词:MEMS 微型电子源 场发射 碳纳米管 
基于氧化硅隧穿电子源的高压力微型电离真空传感器
《真空与低温》2022年第4期438-444,共7页杨威 詹芳媛 魏贤龙 
国家重点研发计划(2017YFA0205003、2019YFA0210201);国家自然科学基金(11890671、11874068、62022007)。
微型电离真空传感器在微小空间和特殊范围的压力探测中有着非常重要的应用。然而,之前的微型电离真空传感器存在或体积大或工作电压高或能耗高等缺点。以新型氧化硅隧穿电子源为阴极制备了一种高压力微型电离真空传感器,该传感器结构紧...
关键词:电离真空传感器 氧化硅隧穿电子源 高压力 微型化 
碳纳米管电子源制备及真空测量中的应用研究被引量:2
《真空与低温》2014年第2期77-82,共6页李菁桢 常鹏 
真空低温技术与物理重点实验室开放基金(ZDK1003)资助
在调研碳纳米管电子源制备技术基础上,主要介绍了用于真空测量的两种碳纳米管电子源结构,分别对其制备工艺及在真空测量中的应用进行了叙述,并对碳纳米管电子源新结构和新工艺的进展进行介绍和总结,对碳纳米管电子源制备及其在未来真空...
关键词:碳纳米管 电子源 真空测量 
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