注入机

作品数：249被引量：155H指数：6
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国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线
《半导体信息》2010年第6期13-14,共2页黄玉英 
关键词：晶圆生产 NM 离子注入机 集成电路制造 中芯国际 北京中科 国际主流 制程工艺 技术跨越 技术水平 
我国芯片制造技术现状及差距
《半导体信息》2007年第3期21-22,共2页刘广荣 
关键词：芯片制造 技术现状 制造技术水平 芯片生产线 中芯国际 世界先进水平 光刻机 中国电子报 专用设备 离子注入机 
国产主流集成电路核心设备产品签下首笔销售合同
《半导体信息》2006年第6期7-7,共1页刘广荣 
关键词：设备产品 销售合同 北京中科 离子注入机 设备技术水平 设备标准 微电子公司 项目验收 中芯国际 批量采购 
Axcelis推出65nm工艺大剂量离子注入机
《半导体信息》2006年第4期27-27,共1页熊述远 
关键词：离子注入机 Axcelis NM 器件制造 
上海新傲科技公司设立中国首家商业化SOI晶圆厂
《半导体信息》2003年第3期24-24,共1页章从福 
中国科学院上海微系统与资讯技术研究所上海新傲科技有限公司设立了中国首家商业化绝缘硅(SOI)晶圆厂。该晶圆厂具备年产3万片SOI晶圆的生产能力,其主要客户来自国外,但本地的需求正在迅速成长中。上海新傲曾于2002年向美国Ibis Technol...
关键词：晶圆厂 SOI 离子注入机 技术研究所 主要客户 
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