自动套准

作品数：42被引量：48H指数：5
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相关领域：轻工技术与工程自动化与计算机技术更多>>
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聚焦离子束的图形产生和自动套准系统
《微细加工技术》1997年第3期40-45,共6页张恝恕 杜秉初 汪健如 
本文详细介绍了新一代用于聚焦离子束的图形产生和自动套准系统。该系统设计的基点是充分考虑计算机运算速度极大的提高，使得原来必须靠硬件实现的功能，完全可以由软件来实现，而并不降低其执行速度。带来的好处是大大降低了硬件的规...
关键词：聚焦离子束 自动套准系统 微电子器件 光刻 
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