调制掺杂场效应晶体管

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真空蒸发、淀积、溅射、氧化与金属化工艺
《电子科技文摘》2001年第2期29-29,共1页
0102096基于人工神经网络方法的 LSI 工艺优化实践[刊]/石林初//微电子技术.—2000,28（5）.—39～44（E）0102097行波管夹持杆微波等离子体化学气相沉积金刚石厚膜改善散热性能研究[刊]/谢扩军//电子学报.—2000,28（9）.—85～87,77（...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 真空蒸发 人工神经网络方法 金属化工艺 工艺优化实践 行波管夹持杆 调制掺杂场效应晶体管 金刚石厚膜 微电子技术 性能研究 
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