钛扩散

作品数：29被引量：41H指数：4
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钛金属对掺镁铌酸锂晶体表面的刻蚀效果研究
《科学时代》2011年第8期115-116,共2页张培 
以掺镁铌酸锂（Mg：LiNbO3）晶体为基础，通过由Mg：LiNbO3、钛膜、Mg：LiNbO3组成的夹层结构（sandwich structure）在1050至1100℃的温度下，并且通湿氧的环境中进行退火，证明了Mg：LiNbO3晶体的表面刻蚀，并验证了刻蚀深度会受到初...
关键词：掺镁铌酸锂晶体 钛扩散 刻蚀 
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