云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 椭圆偏振光谱

椭圆偏振光谱: 作品数：85被引量：136H指数：6; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：陈良尧黄宗卿张荣君郑玉祥李秋俊更多>>; 相关机构：复旦大学中山大学重庆大学中国科学院更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划云南省自然科学基金更多>>

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GaN薄膜的椭偏光谱研究被引量：1: 《半导体技术》2011年第11期821-825,865,共6页余养菁张斌恩李孔翌姜伟李书平康俊勇; 国家自然科学基金重点专项(60827004);国家自然科学基金(60776066);国家863计划项目资助项目(2011AA03A110); 采用椭圆偏振光谱法,在1.50～6.50 eV光谱内,研究了在蓝宝石衬底(0001)面上使用金属有机化学气相沉积(MOCVD)的方法制备的非掺杂纤锌矿结构GaN薄膜的光学性质。建立GaN表面层/外延层/缓冲层/衬底四层物理结构模型。与Cauchy和Sellmeier...; 关键词：GAN薄膜椭圆偏振光谱光学各向异性色散关系纤锌矿结构

椭偏光谱及在离子注入硅损伤研究中的应用: 《半导体技术》2000年第5期33-37,共5页阳生红莫党; 介绍了椭圆偏振光谱（SE）的原理，给出了椭偏仪在离子注入半导体的辐照损伤研究中的应用和局限。研究表明，结合其它分析手段并建立精细的椭偏模型。椭圆偏振光谱能定量测量各层结构的厚度、成分、气孔率和光学常数。; 关键词：椭圆偏振光谱离子注入半导体硅损伤

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