外差干涉

作品数:217被引量:600H指数:12
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基于等效元件和相位补偿法的双倍分辨率波片测量
《中国激光》2024年第8期94-99,共6页陈强华 邵多 刘福铭 关裕 吕洪波 司丽娜 阎红娟 豆照良 
国家自然科学基金(52075004,50475177,51575004);北京市教育委员会科学研究计划项目(KM202110009010);北京市自然科学基金(3212003)。
提出了一种基于等效元件和相位补偿法的高精度任意波片相位延迟量和方位角同时测量的方法。在测量光路中的待测波片之前插入一个可旋转半波片,利用反射镜使测量光两次过该半波片和待测波片,相当于测量一个相位延迟量为待测波片两倍的等...
关键词:测量 波片测量 相位延迟量 等效元件 相位补偿 双倍分辨率 外差干涉 
基于激光外差干涉技术的非接触式光声信号检测研究被引量:1
《中国激光》2024年第3期234-243,共10页王成 梁宸 皇甫胜男 朱俊 张瑶 徐锦程 郑刚 项华中 张大伟 
国家自然基金(62175153);上海科委项目(21S902700)。
光声信号的传统检测方法是基于超声技术,这样接触式的信号探测方式增加了交叉感染的风险,不利于临床应用。采用纯光学技术的光声成像可提升检测精度和临床舒适度,具有较强的临床应用价值。设计了采用调Q Nd∶YAG脉冲激光器作为激励源的...
关键词:生物光学 外差干涉 光声信号 I/Q正交法 非接触式探测 
外差干涉相位测量中信号串扰误差与补偿方法研究被引量:1
《中国激光》2023年第10期75-86,共12页杨伟雷 刘洋 赫明钊 缪东晶 陈本永 谢志奇 李建双 
国家重点研发计划(2019YFB2006103);中国计量科学研究院基本科研业务费项目(AKY1902,AKYZZ2103,AKYZD2212)。
为了解决外差干涉相位测量中多通道采样信号间的串扰误差对相位测量精度的影响,提出了一种基于采样信号频谱分析的预补偿方法来实现信号串扰误差的补偿和消除。首先建立基于锁相放大的正交鉴相法的信号串扰误差理论模型,阐明了串扰系数...
关键词:测量 外差干涉 正交鉴相 信号串扰 频谱分析 位移测量 
基于连续小波变换的激光外差干涉非线性误差补偿被引量:4
《中国激光》2022年第21期139-144,共6页王煜 陈洪芳 
国家自然科学基金(52175491)。
测量分辨率和精度的不断提高是激光外差干涉测量的发展趋势,而抑制激光外差干涉测量精度进一步提升的主要因素是周期性非线性误差。提出了一种基于连续小波变换的激光外差干涉非线性误差补偿方法。对非线性误差函数进行Morlet小波变换,...
关键词:测量 激光外差干涉 非线性误差 连续小波变换 最小二乘非线性拟合 
复合光纤马赫-曾德尔外差干涉位移在线测量系统被引量:2
《中国激光》2019年第9期186-190,共5页王韵致 谢芳 陈龙辉 徐海波 李明佳 
北京市自然科学基金(3172024)
研究了一种复合光纤马赫-曾德尔外差干涉测量系统,并采用该系统对位移进行在线测量。基于光纤光栅只反射布拉格波长的特性,构建了两个独立但光程几乎重合的光纤马赫-曾德尔干涉仪。其中的一个马赫-曾德尔干涉仪用于完成测量工作,另一个...
关键词:测量 光纤传感 在线测量 外差干涉测量 位移测量 
外差激光干涉测长非线性误差的消除被引量:14
《中国激光》2012年第9期157-162,共6页侯文玫 张运波 乐燕芬 句爱松 
国家自然科学基金(51075280);上海市教委重点学科第五期(J50505)资助课题
外差激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免的缺陷,导致被测信号中出现一个附加的相位误差,使测到的相位移和被测长度不呈线性关系,成为现有激光干...
关键词:激光光学 外差干涉仪 非线性误差 相位补偿 偏振片 
2μm激光外差干涉系统中大口径f-θ扫描系统的光学设计被引量:3
《中国激光》2011年第12期231-235,共5页王春晖 季一勤 高龙 李彦超 曲杨 
国家自然科学基金(61078063)资助课题
透射式激光外差干涉系统能精确测量待测物的内部折射率分布和厚度信息。设计了应用于干涉系统中的混合光学扫描结构,它由微机电系统(MEMS)振镜和f-θ透镜系统组成。f-θ透镜组由3片不同材料的透镜构成,透镜系统对2μm激光波长有约40%的...
关键词:光学设计 外差干涉仪 f-θ透镜 扫描系统 畸变系数 
金属反射镜对外差干涉椭偏测量精度的影响被引量:8
《中国激光》2009年第2期439-443,共5页邓元龙 李岳峙 吴玉斌 徐刚 
深圳科技计划项目(200721)资助课题
采用声光调制器设计了一种透射式外差干涉椭偏测量系统。实验测量了单层透明氧化铟锡(ITO)膜,膜厚和折射率测量误差分别达8nm和7%。采用琼斯矢量法分析了金属反射镜引起的光束椭偏化对测量结果的影响。从光学系统中移出被测样品得到的...
关键词:测量 干涉式椭偏术 误差分析 金属反射镜 退偏效应 方位角误差 
对称共路外差干涉法测量硬盘磁头飞行高度瞬态调制被引量:5
《中国激光》2007年第6期841-845,共5页岳兆阳 林德教 宋南海 孟永钢 殷纯永 
国家973计划(2003CB716205);国家自然科学基金(50525515)资助项目
在线检测硬盘磁头飞行高度(FH)是高密度磁存储技术商品化的重要环节。提出了一种对称共路双频外差干涉测量硬盘磁头飞行高度的方法,用于在线检测磁头飞行高度瞬态调制变化。采用横向塞曼激光器作为外差光源,结合高速相位测量技术,可实...
关键词:测量 外差干涉 磁头飞行高度调制 共光路 相位测量 误差补偿 
偏振分光镜分光性能非理想对激光外差干涉非线性误差的影响被引量:18
《中国激光》2006年第11期1562-1566,共5页陈洪芳 丁雪梅 钟志 
为了减小激光外差干涉纳米测量的非线性误差,必须明确偏振分光镜(PBS)分光性能非理想对非线性误差的影响机制.推导出非理想情况下偏振分光镜透射率和反射率的激光外差干涉非线性误差模型,建立了偏振分光镜分光性能非理想对非线性误差二...
关键词:测量 激光外差干涉 非线性误差 透射率 反射率 偏振分光镜 二次谐波 
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