林德教

作品数：14被引量：72H指数：5
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：外差双频共焦显微术共焦干涉仪更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术电子电信经济管理更多>>
发文期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《计量学报》《首都经济贸易大学学报》《中国激光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金博士研究生创新基金国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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对称共路外差干涉法测量硬盘磁头飞行高度瞬态调制被引量：5
《中国激光》2007年第6期841-845,共5页岳兆阳 林德教 宋南海 孟永钢 殷纯永 
国家973计划(2003CB716205);国家自然科学基金(50525515)资助项目
在线检测硬盘磁头飞行高度(FH)是高密度磁存储技术商品化的重要环节。提出了一种对称共路双频外差干涉测量硬盘磁头飞行高度的方法,用于在线检测磁头飞行高度瞬态调制变化。采用横向塞曼激光器作为外差光源,结合高速相位测量技术,可实...
关键词：测量 外差干涉 磁头飞行高度调制 共光路 相位测量 误差补偿 
大台阶高度测量的外差共焦方法被引量：4
《中国激光》2005年第3期389-393,共5页闫聚群 柳忠尧 林德教 张蕊 殷纯永 徐毅 许婕 
国家自然科学基金(50027002);清华大学博士生创新基金联合资助项目.
台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据.该扫描方法集中融...
关键词：测量与计量 共焦显微术 外差干涉 相位测量 台阶 
用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法被引量：3
《计量学报》2005年第2期115-119,共5页柳忠尧 闫聚群 张蕊 林德教 殷纯永 叶孝佑 许婕 
国家自然科学基金(50027002)
提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特...
关键词：计量学 偏振干涉 边缘探测 线宽 共光路设计 共焦显微术 
一种新型的非接触式掩膜板台阶高度测量仪被引量：2
《计量学报》2004年第1期1-5,共5页林德教 柳忠尧 徐毅 殷纯永 
国家自然科学基金(50027002);清华大学博士生创新基金资助。
提出一种外差干涉与共焦显微技术融合用于微电子掩膜板台阶高度测量的方法,同时实现了高分辨率(亚纳米)与较大量程(5μm以上)测量,构成了双频干涉共焦显微系统DICM。实验比较了3组物镜数值孔径NA、放大倍数β条件下的共焦显微系统轴向...
关键词：计量学 微电子掩模板 共焦显微术 外差测相 轴向响应 
双频干涉共焦台阶高度测量系统被引量：6
《中国激光》2003年第11期1015-1018,共4页林德教 柳忠尧 张蕊 殷纯永 徐毅 
国家自然科学专项基金 (No .5 0 0 2 70 0 2 );清华大学博士生创新基金联合资助项目
提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶高度测量范围在 5 μm以上。同时采用相位测量技术 ,实现了对半波长的 36 0 0细分 ,从而使测量分辨率达到...
关键词：测绘仪器 相位测量 外差干涉 共焦显微术 
旋转光栅调制傅里叶变换频谱仪被引量：3
《中国激光》2003年第5期409-412,共4页林德教 平井亚纪子 松本弘一 曾理江 殷纯永 
中日国际合作研究项目;日本中小企业支援型研究开发基金资助
提出了一种基于圆盘旋转光栅调制的傅里叶变换光谱仪(FTS),光栅同时实现了分束和外差调制的功能。分析了三种实现分光的方案,通过对三个波长分别为670nm,633nm和532nm的激光进行了频谱测量实验,结果表明该光谱仪具有良好的稳定性和抗干...
关键词：光电子学 傅里叶变换光谱仪 旋转光栅 外差调制 
高精度滚转角干涉仪被引量：9
《光学技术》2002年第4期332-333,336,共3页柳忠尧 林德教 殷纯永 蒋弘 
提出了一种基于横向塞曼激光器的新的滚转角测量系统。该系统在已有技术的基础上 ,将测量放大倍率又扩展了 4倍 ,从而大大提高了滚转角的测量精度。系统以横向塞曼激光器出射的正交线偏振光作为测量光 ,首先经 1 /4波片将线偏振光变成...
关键词：滚转角 灵敏度倍增 偏振方向改变 横行塞曼激光器 干涉仪 
用于减少漂移的纳米定位干涉仪集成系统被引量：2
《中国激光》2002年第8期707-710,共4页吴健 林德教 殷纯永 郭继华 
国家自然科学基金 (No .5 9875 0 5 1);清华大学基础研究基金 (No .JC19990 4 7)资助项目
基于表面等离子体共振 (SPR)的纳米定位装置可以实现纳米级的定位分辨率和重复性。通过设计特殊四面体棱镜 ,使四面体棱镜第一个反射面的入射角等于SPR的共振角 ,在该反射面上镀上金属膜 ,后面放置光纤探头构成SPR定位指零装置 ,实现了...
关键词：漂移 干涉仪 纳米定位 表面等离子体共振 四面体棱镜 纳米测量 
具有纳米级分辨率的超精密定位工作台被引量：25
《光学技术》2001年第6期556-557,559,共3页林德教 吴健 殷纯永 
国家自然科学基金资助项目 (598750 51 )
柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台 ,介绍了其系统结构和工作原理 ,并对刚度性能作了分析。利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台...
关键词：柔性铰链 定位工作台 纳米级分辨率 压电陶瓷 双频激光干涉仪 
双反射薄膜的设计和实现被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2001年第11期77-79,共3页毛文炜 林德教 殷纯永 霍玉晶 
国家自然科学基金资助项目 (5 973 5 12 0 );清华大学基础研究基金项目 (JC19990 13 )
弹光效应双反射膜是一种各向异性的高反射膜。在预加了应力的基片上镀制高反射膜 ,然后撤去基片上的预加应力 ,则基片上因弹性变形而产生的应变便转移到了膜系上。由于弹光效应使膜系成为各向异性的 ,从而使垂直入射光束的两个正交偏振...
关键词：光学薄膜 相位色散 双反射膜 弹光效应 双频激光器 
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