共焦显微术

作品数：28被引量：46H指数：4
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双轴反射式2.52THz共焦扫描二维轴向成像特性实验
《激光与光电子学进展》2016年第8期129-134,共6页周毅 李琦 
太赫兹双轴反射式共焦扫描成像技术可穿透非极性非金属材料并实现高分辨三维成像,因此具有广泛的研究和应用价值;其二维成像质量与物体轴向位置有很大关系。利用2.52THz双轴反射式共焦扫描成像系统进行了物体轴向位置对二维成像质量的...
关键词：成像系统 太赫兹成像 共焦显微术 反射 
基于共焦显微条件下线结构光共焦显微术的研究
《装备制造技术》2010年第3期1-2,5,共3页萧泽新 韩文峰 
广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放基金项目(桂科能07109008_026_K)
美国的Minsky在20世纪50年代末提出共焦显微术的概念以来,尽管共焦显微术可以获得更高的分辨率,但不仅成像速度慢,而且需要使用光电增强器对采集光点信号进行增强,导致制造成本过高,所以除一些成像质量要求极高的显微系统外,其他的显微...
关键词：线共焦 线扫描 线结构光 
拉曼光谱仪的两种共焦显微术的对比被引量：7
《现代科学仪器》2005年第3期17-20,共4页肖新民 
介绍了拉曼光谱仪采用的共焦显微术的广泛应用;叙述了真共焦显微术的基本原理和优点,以及简单共焦(即“赝共焦”)显微术的主要缺点;列出了有关实验结果及数据对比。
关键词：真共焦显微术 简单共焦(赝共焦)显微术 拉曼光谱仪 
大台阶高度测量的外差共焦方法被引量：4
《中国激光》2005年第3期389-393,共5页闫聚群 柳忠尧 林德教 张蕊 殷纯永 徐毅 许婕 
国家自然科学基金(50027002);清华大学博士生创新基金联合资助项目.
台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据.该扫描方法集中融...
关键词：测量与计量 共焦显微术 外差干涉 相位测量 台阶 
冷却可调谐激光器适用于显微术
《激光与光电子学进展》2005年第4期58-59,共2页王建辉 
纽约州立大学和纽约州卫生部的几位科学家经研究证实了一种廉价的激发方法可用于共焦显微术。利用半导体激光器的输出随温度变化的特点改进对比度和激发同一激光器的不同染料。例如，室温时输出波长为635nm的激光二极管，在-196℃时输...
关键词：可调谐激光器 适用 冷却 半导体激光器 共焦显微术 激光二极管 温度变化 纽约州 科学家 卫生部 对比度 输出 液态氮 激发 波长 
用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法被引量：3
《计量学报》2005年第2期115-119,共5页柳忠尧 闫聚群 张蕊 林德教 殷纯永 叶孝佑 许婕 
国家自然科学基金(50027002)
提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特...
关键词：计量学 偏振干涉 边缘探测 线宽 共光路设计 共焦显微术 
荧光波长对双光子荧光共焦成像分辨率的影响
《南阳师范学院学报》2004年第6期24-26,共3页白建平 赵文丽 肖华层 
导出了共焦双光子荧光显微镜探测光强随荧光波长变化的解析表达式。研究了不同荧光波长对双光子荧光共焦显微镜横向、纵向分辨率和光斑强度的影响。结果指出 ,随着荧光波长与入射波长的比值的增加 ,横向和纵向分辨率降低 ,双光子荧光成...
关键词：双光子荧光 共焦显微术 分辨率 
结构光和显微术相结合实现光学层析被引量：2
《西安交通大学学报》2004年第5期508-512,共5页朱升成 王昭 赵宏 
国家自然科学基金资助项目 (60 0 770 3 1 )
针对共焦测量中单点扫描速度慢、机构复杂、光能利用率低的问题,介绍了一种利用结构光和共焦显微术相结合来实现多光束测量的新方法.通过改装显微照明光路,投射一结构光到被测物体上,获得了物体的层析像与普通显微镜成像的叠加像.该叠...
关键词：结构光 共焦显微术 光学层析 
用滤波器提高共焦系统纵向分辨率的实验研究
《光电子．激光》2004年第4期420-422,共3页王湘晖 林列 杨勇 方志良 
教育部南开大学;天津大学科技合作基金资助项目
针对采用有限大小探测器的共焦显微系统,利用两区相位型滤波器提高系统的纵向分辨率。在实验上,采用1透射式液晶空间光调制器实现了对共焦显微系统照明光场位相的动态调制,测量了探测针孔直径分别为5μm、10μm和15μm时,共焦显微系统...
关键词：共焦系统 纵向分辨率 共焦显微术 相位型滤波器 探测器 
一种新型的非接触式掩膜板台阶高度测量仪被引量：2
《计量学报》2004年第1期1-5,共5页林德教 柳忠尧 徐毅 殷纯永 
国家自然科学基金(50027002);清华大学博士生创新基金资助。
提出一种外差干涉与共焦显微技术融合用于微电子掩膜板台阶高度测量的方法,同时实现了高分辨率(亚纳米)与较大量程(5μm以上)测量,构成了双频干涉共焦显微系统DICM。实验比较了3组物镜数值孔径NA、放大倍数β条件下的共焦显微系统轴向...
关键词：计量学 微电子掩模板 共焦显微术 外差测相 轴向响应 
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