微电子材料

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石墨烯微电子材料潜在应用研究
《德州学院学报》2011年第4期107-110,共4页翟译晨 
在硅电子材料即将发展到顶峰时,石墨烯以其优良的导体和半导体性质将成为延续硅材料的主流微电子材料;详述了石墨烯的结构与电学性质,从而说明其作为微电子材料的优势,并列举了在微电子器件构建中已经取得的成果及构建器件的方法,简述...
关键词：微电子材料 石墨烯 构建器件 
微电子材料CMP加工中去除率与速度的关系被引量：1
《重庆大学学报（自然科学版）》2005年第2期104-106,共3页严波 吕欣 张晓敏 
重庆大学青年骨干教师资助项目
通过研究微电子材料化学机械平坦化(CMP)加工过程中磨料颗粒在晶片加工表面的运动规律,得到磨料颗粒在晶片表面的运动轨迹方程。当晶片和垫板的转动角速度相同时,得出材料去除率(MMR)与垫板和晶片相对速度成正比的结论。给出了磨料颗粒...
关键词：微电子材料 化学机械平坦化 材料去除率 刮痕 
纳米硅表面与界面的扫描隧道显微镜研究
《电子显微学报》1997年第6期751-754,共4页高聚宁 杨海强 刘宁 时东霞 江月山 薛增泉 庞世谨 何宇亮 
本文应用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），对使用等离子体增强化学气相沉积法（ＰＥＣＶＤ）制备的纳米硅（ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ）薄膜进行了研究，得到颗粒上以及颗粒间界的原子结构图像，从图像上可以得出：（１）纳米硅薄膜是由许多不同大小的...
关键词：微电子材料 纳米硅 扫描隧道显微镜 原子结构 
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