微反射镜

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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：吕金光梁静秋秦余欣陈维友董玮更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院吉林大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《光电子信息快报》更多>>
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时空联合调制成像光谱仪前置成像系统分析与设计
《物理学报》2014年第10期64-71,共8页王文丛 梁静秋 梁中翥 吕金光 秦余欣 田超 王维彪 
国家自然科学基金(批准号:61027010;60977062;61376122);吉林省科技发展计划(批准号:201205025;20130206010GX);长春市科技计划(批准号:2011131;2013261)资助的课题~~
为满足红外成像光谱仪大光通量、高稳定性的应用需求,提出了一种基于多级阶梯微反射镜的静态化、无狭缝式、新型红外时空联合调制型傅里叶变换成像光谱仪结构.对其工作原理和光程差的产生方式进行了分析.作为该成像光谱仪的重要部件,前...
关键词：傅里叶变换成像光谱仪 光学系统分析与设计 多级阶梯微反射镜 中波红外 
阵列光开关驱动结构制作工艺的研究
《半导体光电》2007年第3期361-362,366,共3页贾翠萍 董玮 仲志成 周敬然 李元元 陈维友 
吉林省科技发展计划项目(20050319)
采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极。腐蚀表面的不平整影响了光开关的驱动扭臂结构的制作。采用合理配比的HF,HNO3和CH3COOH腐蚀剂对制作的微反射镜阵列硅片进行抛光处理,抛光后微反射镜表面和腐蚀的(110)面均有较大...
关键词：光开关 KOH腐蚀 微反射镜 扭臂 
8×8 MEMS光开关阵列的制作
《Journal of Semiconductors》2006年第z1期343-346,共4页贾翠萍 董玮 周敬然 刘彩霞 臧会东 玄伟 徐宝琨 陈维友 
吉林省科技发展计划资助项目(批准号:20050319)
采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开...
关键词：光开关 (110)硅片 微反射镜 开关时间 
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