微机构

作品数：44被引量：53H指数：4
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金属基底上三维可动微机构的制作被引量：1
《纳米技术与精密工程》2009年第1期36-40,共5页杜立群 喻立川 刘文涛 宋磊 
国家自然科学基金资助项目(50675025);国家科技支撑计划项目( 2006BAF04B13)
在无背板生长工艺的基础上,以SU-8胶为牺牲层,直接在金属 Ni 基底上制作出了一种三维可动微机构.该器件的制作主要采用了SU-8厚胶光刻工艺、高深宽比结构的微电铸工艺以及牺牲层工艺.就SU-8胶与金属基底结合差、易产生气泡、去除困难,...
关键词：SU-8厚胶光刻 微电铸 牺牲层技术 微结构 可动机构 
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