微机械传感器

作品数：23被引量：50H指数：4
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微机械传感器计算机辅助设计系统被引量：1
《仪器仪表学报》1995年第S1期223-226,244,共5页费龙 钟先信 温志渝 徐涛 
国家教委博士点基金
微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。
关键词：微机械传感器 计算机辅助设计 敏感元件 设计系统 微机械结构 硅微加速度传感器 传感单元 数据库 工艺条件 传感器阵列 
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