微机械传感器

作品数：23被引量：50H指数：4
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相关机构：罗伯特·博世有限公司中国科学院南京信息工程大学东南大学更多>>
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一种基于微机械传感器的关节角度测量方法被引量：1
《仪表技术与传感器》2016年第9期112-116,共5页孙田星 
介绍了一种基于双轴微机电系统(MEMS)加速度计与单轴陀螺仪的机器人关节角度测量系统。相比于传统的霍尔磁传感测量以及光学角度测量方法,该系统的传感器不需要与机械关节直接接触,安装位置更为灵活。文中将着重介绍角度测量的数学模型...
关键词：微机械系统 角度测量 加速度计 陀螺仪 双轴微机电 霍尔磁传感测量 
提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)被引量：2
《仪表技术与传感器》2002年第11期1-2,共2页郑丹 宋朝辉 张鲲 
国家 973项目"集成微光机电系统研究"(G1 9990 331 0 1 )的资助
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ,但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ,从而...
关键词：压力膜片 微机械传感器 力学灵敏度 薄膜残余应力 压力传感器 
采用锁相技术的微小电容检测电路被引量：3
《仪表技术与传感器》1999年第2期26-27,30,共3页王亚强 丁纯 王跃林 
】描述了一种应用于电容式传感器的微小电容检测电路，此电路采用锁相技术的原理，成本较低，具有较好的线性度和较高的灵敏度。
关键词：微小电容检测 微机械传感器 锁相技术 电路 
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