微机械电子系统

作品数：62被引量：159H指数：6
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者：陈健陈德勇王军波刘晓为刘恒更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所西安交通大学西北工业大学哈尔滨工业大学更多>>
相关期刊：《高科技与产业化》《弹道学报》《北京航空航天大学学报》《传感技术学报》更多>>
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服务于IC产业的MEMS探卡被引量：1
《微纳电子技术》2009年第12期705-714,共10页程融 蒋珂玮 汪飞 李昕欣 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB300405);国家自然科学基金资助项目(60725414;60721004)
圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用。分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需要,传统的组装式探卡将不能适应...
关键词：圆片级测试 芯片测试探卡 微机械电子系统 过孔互连 镍探针阵列 
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