微机械技术

作品数：79被引量：138H指数：7
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微机电一体化技术在光通信中的应用被引量：1
《光机电信息》2003年第9期9-14,共6页王玉英 
关键词：光通信 微机电一体化 光学器件 微机械技术 驱动式机械光开关 
欧洲的微机械技术
《光机电信息》1996年第4期16-17,共2页高晓萍 
欧共体制定了自1994年至1998年有关微机械的研究开发计划.其目的是加强欧洲产业的竞争力.预计对信息技术、产业技术、环境技术、生命科学、能源、运输系统以及特定的社会经济研究投资约1兆7000亿日元.计划是根据汽车、医疗、工艺监控三...
关键词：欧洲 微机械技术 激光加工 
利用LIGA工艺研制的微型流体器件
《光机电信息》1996年第4期18-18,共1页高晓萍 
德国的卡尔斯鲁厄研究中心(FK)的微小结构体研究所,积极地进行有关微系统技术的研究.因为LIGA同时利用光制造技术和金属蒸镀技术,所以可制作三维微小结构体,它是一种近于实用化的技术.FK利用这种技术制作微泵、微阀、微型透平、微型传...
关键词：微型流体器件 传感器 制造 微机械技术 
用微机械技术的光集成传感器
《光机电信息》1995年第9期8-10,共3页崔承甲 
硅单晶作为半导体材料具有优良的特性,它是一种硬度、拉伸强度和杨氏模量较大、机械性能也较好的材料.半导体工艺技术在硅单晶材料中可以充分发挥作用.因此,在硅单晶基板上利用微机械技术作成三维结构,试图把它作为坚固的机械结构与器...
关键词：光集成传感器 微机械 
硅膜片可变焦反射镜
《光机电信息》1995年第4期20-24,共5页麻壮华 
半导体激光器的发明，推动了将受光元件、发光元件、光波导和微透镜系统等集成于同一衬底上的光集成组合元件的研究。目前，正在进行着利用微机械技术使各种微小光学元件和驱动这些元件的传动机构更加小型化的研究。其中也包括对可变焦...
关键词：硅膜片 可变焦 反射镜 半导体激光器 微机械技术 微小光学元件 
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