微机械结构

作品数：26被引量：47H指数：4
导出分析报告
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者：鲍敏杭沈绍群李昕欣杨恒严英占更多>>
相关机构：罗伯特·博世有限公司意法半导体股份有限公司复旦大学清华大学更多>>
相关期刊：《北京理工大学学报》《仪器仪表学报》《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划福建省自然科学基金“九五”国家科技攻关计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=仪器仪表学报x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
微机械传感器计算机辅助设计系统被引量：1
《仪器仪表学报》1995年第S1期223-226,244,共5页费龙 钟先信 温志渝 徐涛 
国家教委博士点基金
微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。
关键词：微机械传感器 计算机辅助设计 敏感元件 设计系统 微机械结构 硅微加速度传感器 传感单元 数据库 工艺条件 传感器阵列 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部