微继电器

作品数：17被引量：13H指数：2
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一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器
《微纳电子技术》2007年第7期255-256,287,共3页李洋 许高斌 
安徽省教育厅自然科学研究重点项目(2006KJ026A)
介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同时,使用溅射工艺制作Au接触电极,...
关键词：微机电系统 微继电器 梳齿驱动 表面牺牲层工艺 
微机械继电器的研究及进展被引量：3
《微纳电子技术》2007年第2期88-92,110,共6页刘本东 李德胜 
国家863项目资助(2003AA404140)
对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析, 介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的结构、制作工艺、关键部件的尺寸, 并探索了静电驱动、热驱动和电磁驱动微继电器的发展前景。
关键词：微继电器 微驱动器 微机电系统 
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