微继电器

作品数：17被引量：13H指数：2
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MEMS微继电器及其关键问题研究现状被引量：8
《压电与声光》2006年第3期278-281,共4页尤政 李慧娟 张高飞 
国防预研基金资助项目
通讯等应用领域微型化的需求和微机械加工技术的进步推动了基于微机电系统(MEMS)技术的微继电器的快速发展。介绍了国外MEMS微继电器的研究现状,分析了不同类型MEMS微继电器的特点,讨论了MEMS微继电器的基本结构特征和关键问题,并分析了...
关键词：微机电系统 MEMS 微继电器 接触电极 
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