微米级

作品数：670被引量：1584H指数：15
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基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究被引量：1
《光学精密工程》2024年第2期137-147,共11页张宝良 梁文峰 杨铁 于鹏 
国家重点研发计划资助项目(No.2021YFB3201600)。
为解决原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)系统更换探针后光路调整复杂耗时、精度不足的问题,本文首次提出通过精密控制探针与探针夹装配位置来实现更换的探针相对AFM系统原光路位置的一致,进而实现免去AFM系统换针后调整光路...
关键词：原子力显微镜 探针装配 光束偏转法 微米级位移调节 
基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺
《光学精密工程》2024年第1期43-52,共10页姚宇超 周锐 严星 王振忠 高娜 
国家自然科学基金资助项目(No.62175203);福建省科技计划资助项目(No.2020H0006);嘉庚创新实验室应用基础研究资助项目(No.RD2020050301)。
在MLA曝光工艺中,曝光点的数量庞大,通过高倍率显微镜配合人工目检来判定曝光质量耗时耗力,造成工艺成本偏高。为了解决这个问题,设计了一种便于检测的圆环形图案并引入深度学习中的目标检测Yolov5模型,一定程度上能够取代人工目检,完...
关键词：无掩膜光刻 微透镜阵列 曝光合格率 目标检测 
实现微米级灭菌范围控制的微细等离子体射流装置被引量：2
《光学精密工程》2022年第3期296-309,共14页张雨晗 朱鸿成 杜晓霞 肖文香 李华 
国家自然科学基金资助项目(No.61864001,No.62163009);广西自然科学基金重点项目(No.2021GXNSFDA196005);广西自动检测技术与仪器重点实验室主任基金资助项目(No.YQ21111);广西研究生教育创新计划项目(No.YCSW2021181)。
为了实现微细等离子体的精准灭菌,设计了新型微细等离子体射流装置,并对该装置产生的含氧活性粒子(Reactive Oxygen Species,ROS)和含氮活性粒子(Reactive Nitrogen Species,RNS)分布范围及其灭菌范围进行研究。淀粉碘化钾混合溶液里的...
关键词：微细等离子体 灭菌 淀粉碘化钾混合溶液 微米级 
微米级球形金属粉体的稳定脉冲微输送被引量：1
《光学精密工程》2015年第6期1620-1626,共7页王洪成 章维一 戴振东 
中国博士后科学基金资助项目(No.2014M551584);江苏省博士后科研基金资助项目(No.1402006B);江苏省三维打印装备与制造重点实验室开放基金资助项目(No.L2014071302)
针对激光熔覆或3D微打印等金属零件先进制造技术对稳定微量输送金属粉体的要求,分析了微米尺度金属粉体脉冲输送机理。为提高金属粉体脉冲输送分辨率和输送稳定性,设计了余弦修圆波形、正弦修圆波形和正弦余弦组合修圆波形作为压电致动...
关键词：激光熔覆 金属微粉体 微输送 脉冲惯性力 微喷嘴 
微观测试技术及其发展应用被引量：4
《光学精密工程》1998年第2期15-17,共3页吴一辉 贾宏光 王立鼎 
国防科工委微米/纳米技术预研资助;863的资助
概述了微观测试技术的内涵及其发展趋势，分析了它的特点、作用、地位以及二十一世纪初十年代的要求，展望了该技术未来的发展趋势。
关键词：微观测试 内涵 测量技术 毫米级 微米级 
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