谐振传感器

作品数:47被引量:102H指数:6
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相关机构:通用电气公司北京航空航天大学清华大学浙江大学更多>>
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微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路被引量:5
《微纳电子技术》2010年第6期350-356,共7页甘小华 刘民 于海涛 许鹏程 李昕欣 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z365);国家重点基础研究发展规划(973计划)资助项目(2006CB300405);中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCX2-YW-111-1)
设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满...
关键词:谐振式微悬臂梁传感器 接口电路 锁相环 嵌入式频率电路 频率跟踪 
基于谐振原理的硅微机械加速度计被引量:9
《微纳电子技术》2003年第7期271-273,共3页贾玉斌 郝一龙 钟莹 张嵘 
基于力学振动原理 ,导出敏感梁类谐振振动的微分方程 ,给出了振梁型加速度计的设计原理。指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关 ;为避免输出非线性频率信号 。
关键词:谐振原理 硅微机械加速度计 类谐振器 非线性频率 激励振动 谐振传感器 
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