谐振梁

作品数：37被引量：71H指数：5
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
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谐振梁式硅微惯性器件在地震监测中的应用研究被引量：2
《测试技术学报》2004年第z3期238-241,共4页刘俊 郝一龙 张文栋 
本文分析了国内外地震观测中采用的技术方法和研究现状及前景,综合分析了特殊的环境使用条件和测试过程中信息提取的模型考虑,针对谐振式硅微惯性器件的特点及使用要求,提出采用谐振式硅微惯性器件组合地震观测仪的思路,并介绍了该方案...
关键词：谐振梁 MEMS 惯性 地震观测 
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